11 февраля 2015

Носители для обработки тонких пластин

Plan Optik AG, лидирующий производитель стеклянных пластин, расширил производство стеклянных и кремниевых носителей для обработки тонких пластин.

Полупроводниковые пластины подвергаются множеству технологических операций. Пластины со сквозными выводами для 3D интеграции требуют очень тонких полупроводниковых подложек. Вследствие прогрессирующего уменьшения толщин полупроводниковых пластин, их обработка в стандартном оборудовании требует специальных поддерживающих носителей.

Разнообразные системы обработки тонких пластин уже созданы на рынке полупроводников. Plan Optik предлагает носители для всех типов оборудования для обработки тонких пластин – таких как 3M, T-Mat, Brewer Science, EVG, Suss, TOK и других.

Plan Optik фокусируется на производстве высококлассных носителей из стекла и кремния, которые наилучшим образом соответствуют ряду требований. Они имеют высокую температурную и химическую стойкость, очень точные геометрические допуски (TTV<1 мкм), их КТР соответствует наиболее распространённым полупроводниковым материалам. Доступны разные типы носителей, как для кремния, так и для арсенида галлия.

Высочайшее качество поверхности, созданное хорошо отлаженной двухсторонней полировкой Plan Optik, уникальное лазерное маркирование, включающее QR коды для лёгкого прослеживания, делает носители подходящими для огромного числа циклов использования – до 20! Стеклянные носители могут быть упрочнены, чтобы сделать их практически небьющимися. Также доступно бесщелочное стекло.

Чистые носители для быстрого разделения лазером, перфорированные носители для химического разделения и носители со специальными карманами доступны для разнообразных систем поддержки.

Стандартные стеклянные носители предлагаются для обработки пластин диаметром от 2” до 300 мм. Наиболее распространённые типы доступны со склада – упакованные в условиях чистого помещения и готовые к использованию.

Чтобы гарантировать высочайшее качество, Plan Optik использует систему управления качеством, сертифицированную согласно стандартам ISO TS 16949, ISO 14001 и ISO 9001.