15 декабря 2014

Компания EVG основала центр компетенции технологии наноимпринтной литографии

evg-news.jpg

Компания EVG, ведущий производитель систем сварки пластин и литографии в сферах МЭМС, нанотехнологий и полупроводниковых приборов, открыла центр компетенции NILPhotonics™, который находится неподалеку от штаб-квартиры EVG в Австрии. Центр NILPhotonics™ – это группа технологов, оборудование и чистые помещения для опытного производства.

Центр будет оказывать помощь клиентам в подборе наиболее оптимального и обоснованного решения для наноимпринтной литографии при производстве новых и перспективных продуктов в области фотоники. Например, светодиодов и фотоэлементов, в которых применение наноимпринтной литографии (НИЛ) служит для формирования определенных структур на поверхности пластин, улучшающих параметры излучения или поглощения света. Такие структуры успешно используются, к примеру, в лазерных диодах, позволяя модифицировать характеристики устройства и повысить его эффективность.

«Наноимпринтная литография – это ключевая технология, предназначенная для производства всех видов фотонных структур. Она обеспечивает сокращение времени выхода продукта на рынок и снижение производственных затрат по сравнению с традиционными технологиями электронно-лучевого экспонирования и оптической литографии с применением степперов»,– заявил Маркус Вимплингер, директор по развитию корпоративных технологий и интеллектуальной собственности компании EVG. «В сравнении, например, с традиционной литографией, наша технология НИЛ позволяет формировать трехмерные наноразмерные структуры с характерным размером до 20 нм сразу на всей пластине, что открывает целый ряд новых возможностей в области производства устройств фотоники. Наш центр компетенции позволяет не только предоставлять нашим клиентам наиболее продвинутые системы НИЛ, но и осуществлять сопровождение на этапе разработки продукта с целью оптимизации самого продукта, а также технологических процессов для наиболее полной реализации потенциала технологии НИЛ». 

Новый центр компетенции NILPhotonics™ использует более чем 15-летний опыт компании EVG в области НИЛ. В число оборудования для НИЛ, производимого компанией EVG, входит недавно представленная система УФ-НИЛ EVG7200, поддерживающая высокопроизводительную технологию НИЛ нового поколения SmartNIL™. EVG7200 и технология SmartNIL™ гарантируют непревзойденную производительность и более низкую стоимость владения по сравнению с конкурирующими системами.